第四百七十三章 密室失败事件 (第1/2页)
上午九点多，韩路一从起源集团总部大楼出来，步行到了冰芯厂区。
上次见过一面的工艺负责人丁耀先，带着两个人等在厂区门口。
见韩路一独自走来，没坐车，秘书、助理也没跟，丁耀先脸上先闪过一丝诧异，随即又浮出几分无奈。
产线问题正焦头烂额，加班加点都解决不了，这位合作伙伴的大老板偏偏挑这个时候来看产线。
这算什么，高规格商业旅游吗？
丁耀先只觉得麻烦。
怪不得廖总出差去了，让我来接待。
等韩路一走近，丁耀先已整理好表情，招呼道：“韩总，早啊。”
“丁工早，好久不见。廖总不在啊？”韩路一问道。
“廖总出去谈技术支持的事了，让我来接待您一下。”
韩路一了然：产线上的问题对冰芯确实是重中之重，内部解决不了，廖伯韬这是想请外援。
至于韩路一，他可没指望靠韩路一来解决问题。
丁耀先带韩路一先去办公区签了厚厚一叠补充保密协议，又让他把手机、手表等各种电子设备放进屏蔽柜，几人穿过两层门禁，走进生产线区域前的更衣室。
每个人都要在这里换上连体无尘服和无尘帽，看着像简易版宇航服。
旁边的丁耀先瞥见韩路一嘴唇上的一点血痂，不由得多看了一眼。
韩路一尴尬地笑笑：“最近天气干燥，有点儿上火。”说完戴上口罩，遮住了脸。
丁耀先说了句：“韩总，那您得多喝水啊。”心里却想：最近天气干燥吗？不是挺潮的么，厂房里还得额外防潮。
一段小插曲过去，几人一起走进整个晶圆厂最核心的区域——
光刻黄光区。
为防止空气中的自然光线让原料光刻胶提前曝光，整个厂区全天二十四小时笼罩在特制的黄色人工光线之下。黄色光波长长，携带能量小，不会让光刻胶曝光。
几人一直走到一台巨大的工业设备前才停下。
丁耀先开口道：“韩总您看，这就是我们产线的核心设备，阿斯麦生产的TWINSCANNXT系列浸没式DUV光刻机。”
韩路一认真地点了点头。
其实他哪懂这个。
对光刻技术，他完全是个门外汉。
可今天来，他却要解决冰芯的产线问题。
“丁工，具体是什么问题？”韩路一出声问道。
丁耀先指了指面前的几台设备：“症状就是套刻误差大，但没有任何规律。这几台设备都出过问题，又不是每次都会出现。有时连着十几个批次都没事，突然冷不丁来一下，一批晶圆片就全废了，太头疼了。”
他倒宁愿问题出一台固定机器上，哪怕几率再高点儿。
这种随机出现在各条产线上的问题，才最影响生产管理。
“套刻误差是什么？”韩路一接着问。
丁耀先看了韩路一一眼。
不是，你连套刻误差都不知道？是来干什么的？
但他知道这位韩总本职做软件出身，还是耐心解释：“上次咱们讲过，冰芯的七纳米制程是通过多重曝光技术实现的。一次曝光之后要重新对齐，用新图案再曝光一次，这就是套刻。套刻之间的误差要控制在纳米级，不然出来的图案就废了。”
听到这儿，韩路一知道问题棘手在哪了。
拼接本身是个问题，更严重的是随机出现。
如果每次曝光都出问题，那说明拼接算法不对，要打回去重做；可如果是随机出现，就说明拼接算法没问题，那问题从哪儿来？
韩路一开着视界扫了一圈。
整个厂房各个物品的标签都弹了出来。
先是眼前的巨兽：
【设备：ASMLTWINSCANNXT系列浸没式DUV光刻机】
【状态：健康】
【驱动软件：ASML原生驱动】
旁边的生产线：
【设备：前道全自动涂胶显影机】
【状态：健康】
【驱动软件：原厂驱动】
看起来都没什么问题。
旁边的丁耀先又补了几句：“韩总，您是不知道，能查的地方我们都查了：镜片的温差畸变、原料光刻胶的批次活性，甚至连旁边有车辆路过时厂房的微震动都检测了，全都没有相关性。”
说完他叹了口气：“出现这种状况，要是以前早就请原厂工程师来了；可现在售后全断了，他们的工程师过不来不说，连远程诊断也做不到。”
听起来就像个密室杀人事件。
如果硬件都没问题，那就是软件了？
售后断了，现在用的是什么软件？
韩路一把心里的疑问问了出来。
“是我们自研的管理系统，但已经用了快两年，肯定不是这儿的问题。”丁耀先一听就明白韩路一的意思，也有点儿不以为然。
工业生产可不是互联网产品，能用的东西都不会轻易变动。
当初为了多重曝光技术，他们研究了这个操作系统，之后为了稳定性就没动过。一个两年没动过的东西，怎么会突然出问题？
韩路一又看了一会儿，突然出声：“丁工，你们的监控室在哪儿？能去看看吗？”
丁耀先已看出韩路一没什么头绪，心里也不抱什么希望。
厂里几十个半导体工程师研究了半个月都没看出门道，还能让一个外行把问题解决了？
他现在只想韩路一早点看完走人，他们好继续排查。
还好，监控室的密级并不比生产区更高。
几人一起走进中央监控室，里面有几个值班工程师，每个人都显得压力重重。进门后，韩路一指着旁边的大屏幕问：“管理系统的运行日志能看到吗？”
他没问光刻机的日志，那个是设备加密的，连冰芯也看不到。
丁耀先让一个值班工程师把最近两周的工作日志调出来，然后对韩路一说：“韩总，我们这个系统也是核心工艺的一部分，您不能外泄啊。”
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